Пиезорезистивен сензор за налягане
Тензодатчикът за съпротивление е един от основните компоненти на пиезорезистивен тензодатчик. Принципът на работа на металния тензодатчик се основава на феномена, че съпротивлението на тензодатчика, адсорбиран върху субстрата, се променя с механична деформация, обикновено известно като ефект на съпротивление на деформация.
Керамичен сензор за налягане
Керамичният сензор за налягане се основава на пиезорезистивен ефект. Налягането действа директно върху предната повърхност на керамичната диафрагма, причинявайки лека деформация. На гърба на керамичната диафрагма е отпечатан дебел -слоен резистор, който образува мост на Уитстон. Благодарение на пиезорезистивния ефект на пиезорезистивния резистор, мостът генерира силно линеен сигнал за напрежение, който е пропорционален на налягането и също пропорционален на напрежението на възбуждане. Стандартните сигнали са калибрирани до 2,0/3,0/3,3 mV/V и т.н., в зависимост от обхвата на налягането, и са съвместими с тензометрични сензори.
Сензор за налягане от дифузен силиций
Принципът на работа на сензор за налягане от дифузен силиций също се основава на пиезорезистивен ефект. Използвайки този принцип, налягането на измерваната среда действа директно върху диафрагмата на сензора (от неръждаема стомана или керамика), причинявайки микро-изместване на диафрагмата, пропорционално на налягането на средата. Това води до промяна в съпротивлението на сензора. Електронната схема открива тази промяна и извежда стандартен измервателен сигнал, съответстващ на това налягане.
Сапфирен сензор за налягане
Използвайки принципа на тензометричния датчик, този сензор използва силициев -сапфир като полупроводников чувствителен елемент, притежаващ несравними метрологични характеристики. Следователно полупроводниковите чувствителни елементи, направени от силициев -сапфир, са нечувствителни към температурни промени и показват отлични работни характеристики дори при високи температури; сапфирът има силна устойчивост на радиация; освен това сензорните елементи от силициев-сапфир полупроводник нямат p-n дрейф.
Пиезоелектричен сензор за налягане
Пиезоелектричният ефект е основният принцип на работа на пиезоелектричните сензори. Пиезоелектричните сензори не могат да се използват за статични измервания, тъй като зарядът след прилагане на външна сила се запазва само когато веригата има безкраен входен импеданс. Тъй като в действителност това не е така, пиезоелектричните сензори могат да измерват само динамично напрежение.